提出一种高分辨力与高通光效率兼备的阶梯型纳米孔径设计方法,孔径的尺寸从膜层的入射表面向出射表面呈阶梯型逐渐减小,直到在膜层的出射表面形成一个亚波长的小孔。采用三维时域有限差分(FDTD)方法对方形阶梯型纳米孔径及三角形阶梯型纳米孔径进行了数值模拟计算。结果表明,由于近场光学很强的局域场增强效应,其通光效率与输出光强极大值在具有相同近场光斑尺寸情况下,较普通的非阶梯型纳米孔径提高了两个数量级,甚至更高,有效地提高了输出光功率。采用四台阶三角形阶梯型纳米孔径,当光斑半峰全宽为97 nm×74 nm时,出射光强极大值达到1049.76,较入射光增强了1000倍,而通光效率大于1,达到1.67。这种阶