围绕着激光预处理的增强机理和具体工艺,进行了小光斑扫描处理的实验探索,对0.532 μm波长预处理的实验结果进行了分析,进一步证实了激光预处理对改善光学薄膜质量、提高光学薄膜损伤阈值的有效性和可行性,并从实验角度给予了一定的分析解释。