真空环境下光学薄膜的本征损伤机理研究

基于光学薄膜与环境因素的耦合过程及激光与光学薄膜相互作用的热力损伤过程,分析了真空环境下光学薄膜激光损伤的本征机制。研究显示,真空环境下水的解析引起了电子束沉积的多孔薄膜孔隙率的释放,使得电子束沉积的多孔薄膜折射率及热导率降低,最终导致了薄膜热力损伤过程的加剧,导致了电子束沉积的多孔薄膜在真空环境下损伤阈值极大地降低。