飞秒激光脉冲加工具有热效应小、加工精度突破衍射极限、三维内部加工能力等特性, 在微纳制备领域独具优势。综述了利用飞秒激光脉冲整形技术结合飞秒激光三维直写进行透明介质中微纳制备的最新进展, 这些技术有望在新型集成光学和微纳光学中发挥重要的作用。