根据衍射光强取样分析法理论部分的测量原理设计了一套实验方案,比较了该方法与轮廓仪、显微镜对划痕实际宽度的测试结果,给出了其相对测量误差,并分析了误差的主要来源。该方法速度快,精度高,有推广和应用的价值。