评价光学表面的一个重要参数是表面粗糙度,即使很少量的粗糙也能引起光散射,使光学系统性能变坏。例如,为把表面微观不规则性降到最低,通常在拋光以后还需测量表面粗糙度。对于粗糙度评价已发展了多种技术,其中有些是直接测量表面轮廓的,另一些(如光散射)则是间接测量。