本文用纵向塞曼双频稳频He-Ne激光器作光源,采用光学超外差技术与相位高精度测量相结合,测量光学膜膜厚.测量灵敏度为0.1nm量级.实验结果与理论分析相符合,并与其它测量方法的测量结果进行了比较.