1961年Polanyi提出了化学激光的概念,1965年由Pimentel用HCl激光器成功地获得振荡。当时的化学激光器主要用于研究分子的振动弛豫,最近作为无需外部激励能源的高功率激光器,给人们提供了希望。其中HF激光器是现在输出最高的器件,包括化学反应的促进、控制方法在内有许多研究。