空间调制光电探测器

一种利用标准CMOS工艺实现的旨在消除缓慢载流子扩散对探测器频率响应产生影响的空间调制光电探测器(Spatially-Modulated-Light Detector)结构被提出[57],如图1(a)所示。由N+扩散和N阱形成六个叉指探测区域,N+扩散是为了减小接触电阻,3.5 gm厚的轻掺杂N阱作为吸收层,轻掺杂是为了增大耗尽层宽度同时使寄生电容减小。六个叉指探测区域中的三个被金属层覆盖以阻挡入射光,这三个叉指用金属连在一起作为“慢”探测器(Deferred Detector),剩下的三个也用金属连在一起作为“快”探测器(Immediate Detector)。整个探测器面积为70 gm×7