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电子束斑的电流密度分布的波动电子光学研究,郭小立,唐天同,本文采用波动电子光学的图像理论来研究高分辨电子光学系统的电子束斑电流密度分布。利用波像差概念和电荷密度的旁轴展开式,修正
三、电子束表面热处理
充氧口位置直接影响了真空室内的氧气分布,进而对薄膜的光学性能造成重要影响。为了研究充氧口位置对HfO2薄膜性质的影响,在2个典型的充氧口位置采用电子束蒸发技术在石英基底上沉积了HfO2单层膜,并结合紫
matlab开发-鼠标中控语言激光和电子束通信。Project允许用户使用激光作为指向设备来控制演示。
桑迪亚国家实验室已用激光引导电子束通过气体,这一成就可能加速定向释能武器、聚变能与核武器模拟的发展。桑迪亚的初次演示表明电子束可用紫外激光造成的管状带电通道引导,通过气体。该室为研究带电粒子束传播的几
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日本工业技术计量研究院研究出高精度测定超大规模集成电路中微小图案线宽的测量装置。为测定图案的线宽,必须掌握检测刻线边缘位置的方法,并具有测定边缘间距的长度标尺。在这次开发的装置中,边缘位置由电子束检测
与传统的相干激光光束的评价不同, 对部分相干光束质量进行评价时, 不仅要反映其远场发散特性, 而且还要能体现光源本身的部分相干性。根据部分相干光的相干模表示法, 推导了由部分相干光源所产生光束的相位空
部分相干径向偏振光束传输中相干性研究
简要介绍离子束一电子束一原子束结合沉积技术的原理及特点,并对该技术制备的各种合金、陶瓷以及复合膜的形貌特征进行了分析研究。
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