使用ΚΒ5或KDP晶体,用锁模YAG激光的四次或三次谐波脉冲与用YAG激光器二次谐波脉冲泵浦的LiNbO3参量振荡器所产生的可调谐脉冲和频混合,产生了在紫外区域峰值功率≥20千瓦、波长少于197亳微米的可调谐微微秒脉冲。