激光清洗技术是基于激光与物质相互作用的一种新型清洗技术,能达到清除物体表面污染物的目的[1,2]。与其他清洗方法(机械清洗、化学清洗、超声波清洗等)相比,激光清洗技术具有以下优势: 1)无损情况下有效地清除基底表面微米量级污染物;2)对基底不产生附加污染;3)可精确定位的精细清洗;4)清洗效率高;5)远距离清洗,清洗难以到达的部位;6)“绿色”环保等。