摘要:微机电系统(MEMS)的材料特性是决定微机电系统性能的重要参数。本文介绍了微机电系统材料特性的各种检测技术以及材料特性的研究现状与发展,着重介绍了全光学测试法和波导测试站的分类、原理及特性。关键词:MEMS(微机电系统);材料特性;检测技术;全光学测试;波导测试站中图分类号:TP212.12文献标识码:A 文章编号:1006-883X(2002)12-0001-05 一、引言随着MEMS加工工艺的发展,微机电系统的材料特性引起了人们越来越多的关注。由于硅晶材料的残余应力会降低MEMS系统结构的使用寿命,频繁的冲击会对器件造成致命的伤害。因此,测量加工工艺造成的残余应力和应变,测试材料的疲