报道了氟化氘(DF)激光器腔镜的膜系设计、材料选取、制备工艺及其损伤阈值和热畸变测试结果,实验结果表明,镜面在21 kW/cm2功率密度下的热畸变为0.3λ左右(λ=632.8 nm),腔镜的损伤阈值大于40 kW/cm2.