本文针对分离吸收分级电荷乘积(SAGCM)雪崩光电二极管(APD)的频率性能开发了一种新型等效电路模型,该模型包括载流子传输时间,雪崩累积时间和寄生RC元件的影响。 基于等效电路模型,可以在器件制造之前对SAGCM APD的频率和带宽特性进行仿真,仿真结果与实验数据吻合良好。 当M = 1时,也可以模拟传统的Pin光电二极管。 此外,还研究了SAGCM APD和针状光电二极管在不同照射方向下的频率响应。