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本文第一部分讨论了真空紫外和紫外激光器适用的各种反射镜基片和涂层材料的一般特性。这一部分集中探讨波长复盖在200埃左右到大于3200埃范围里应用的具体材料。
为了获得均匀化、平顶的高功率激光束,设计了一种以平面镜为输出镜、凹面镜为全反镜的新型谐振腔结构,由于凹面镜的周期摆动使得输出光束强度分布得到一个时间上的均匀化,得到近似的“平顶”高斯型。建立了理论模型
非球面能够在不增加系统中光学元件数目与独立像差数的条件下,增加系统优化的自由度,在提高系统性能的同时降低系统复杂度、减轻系统质量。因此非球面被越来越广泛的应用于空间相机、天文望远镜、光刻物镜、光电跟踪
根据初级波面像差理论,推导了自准检测法中平面反射镜的误差允许值.所得结果既适用于轴上,也适用于轴外.同时指出了Burch的结果的局限性.
极紫外(EUV)反射镜在使用过程中的氧化及表面碳污染沉积,严重影响了极紫外光刻(EUVL)技术的工业应用。为了延长EUV 反射镜的稳定性与使用寿命,一般采取在Mo/Si多层膜表面添加保护层。采用直流反
根据极紫外成像器观测地球周围等离子层的要求,设计了极紫外Mg/ Si C双功能多层膜反射镜,并分析了粗糙度、膜厚精度和光学常数变化对反射率的影响。结果表明:5°入射的双功能多层膜反射镜在30 .4 n
应用于硬X射线波段的宽带多层膜光学元件——宽角度X射线超反射镜的设计可以归结为一个连续变量的多维多极值的全局优化问题。缺少一种有效的全局优化方法是阻碍解决这一难题的一个关键。模拟退火算法是一种简单而且
在许多测量系统以及激光焊接的系统中,拥有一字线图案的激光器发挥着重要的作用。为了提高传统一字线激光器光学系统的光能利用率和改善光学照明效果,研究设计了一种自由曲面反射镜,使得光线在细线的宽度方向准直出
从惯性约束聚变系统高功率固体激光驱动器中具有典型意义的大口径激光传输反射镜的装配结构及其技术精度特点出发,分析了其关键面形误差指标的形成原理,研究了反射镜单元的装配预紧基本力学模型。并在此基础上,进一
1300线/毫米偏振无关的反射镜的设计和制造,用于光谱束合成
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