1. 前言 采用微机电系统 (MEMS) 的惯性测量单元 (IMU) ,其定义就是一种系统级封装芯片 (SiP) 。 其中包含一个加速仪机械感测组件、一个陀螺仪机械感测组件,还有一个能把加速和角速度转换成可读取格式的电子电路系统(也就是所谓的「脑部」)。 MEMS惯性测量单元已经发展了几十年,已应用于部分利基市场。 不过一直要到MEMS技术达到一定成熟度,能支持低成本小型装置,这类惯性测量单元广泛建置在各种应用的情况才得以大幅增加。 虽然对于简单动作侦测、计步以及直式/横式屏幕等需求没那么高的应用来说,这类惯性测量单元的效能表现已相当令人满意,传感器应用在可携式、穿戴式与物联网装置崛起后,