研究了在不同输出功率下,输出耦合镜热形变所引起的输出光束Rayleigh长度的变化规律.采用压力变形反射镜对Rayleigh长度变化进行了实时补偿,修正了由于输出耦合镜热变形造成的影响,改善了高功率CO2激光器的聚焦特性.