智能像素是将高密度的光子集成器件与大规模集成电路进行集成,构成具有实用价值的光电子集成系统,其中 光子集成器件是智能像素的关键,它是根据系统功能的要求,将一种类型的光子器件重复分布成矩阵形阵列,大 规模集成在—块芯片上,或者将具有不同功能的多种类型的光子集成器件优化组合,混合集成在一块芯片上,以 突破分立器件功能的局限性。智能像素对光子集成器件有如下要求: (1)光子集成器件要尽可能具备多功能性,能在光电子集成系统中发挥光探测、调制、放大、开关、发射等多 方面功能。 (2)光要垂直于表面照射在器件上或从器件表面发射,只有这样才有可能制作二维光子集成面阵,光子器件集 成化是发展大规模