一文读懂半导体业的印钞机——EUV光刻机

1965年,戈登·摩尔提出摩尔定律。当价格不变时,集成电路上可容纳的元器件的数目,约每隔18-24个月便会增加一倍,性能也将提升一倍。 这个不断触碰半导体工艺极限的定律,也经常伴随着“死亡”和“新生”两方面的话题。其中就有人认为一种名为极紫外光刻(EUV 光刻)的技术能够拯救摩尔定律。 而让小编惊掉下巴的则是它的价格——高达一亿美金。凭什么这么贵呢? 要想弄懂EUV光刻机是什么意思,就得先说光刻机。 素有半导体制造业皇冠上的明珠之称的光刻机,是芯片制造的设备之一,按照用途可以分为好几种:有用于生产芯片的光刻机;有用于封装的光刻机;还有用于LED制造领域的投影光刻机。用于