采用空间频谱方法分析了衍射光学束匀滑器件的焦面光强分布,重新定义了光能利用率及顶部不均匀性两个参数,由于其定义的溯源性,能够真实准确地评价束匀滑器件的设计性能.最后,采用这两个参数对精细化设计前后的衍射光学束匀滑器件性能进行了对比,结果证明了精细化设计的有效性.