在惯性约束核聚变装置中,为了实现高精度光束焦点位置调整的目的,采用了基于高精度自动调整反射镜进行光束准直引导的方法,进行了理论分析和实验验证,取得了不同驱动方式下电动反射镜的调整精度数据.结果表明:柔性铰链连接直线微位移驱动机构和旋转轴框,能够有效地消除摩擦和间隙等对精度的影响,该电动反射镜能够在±15 mrad 的运动范围内实现1 μrad 激光光束指向调整分辨率,满足了神光-III装置的技术要求。这一结果对大型激光器中高精度光束调整系统的设计是有帮助的。