报道了可饱和吸收体Cr4+:YAG的液相外延生长,对双掺杂Cr,Ca:YAG外延层的吸收特性进行了分析.通过对Cr离子掺杂浓度以及外延层厚度的控制,λ=1.064 μm的饱和与非饱和透过率差ΔT可以在5%~30%的范围内进行调节,满足单片式被动调Q微晶片激光器对饱和吸收体的设计要求.分析结果同时表明外延Cr,Ca:YAG层中还有Cr5+离子的存在.