报道了一台高效高功率的腔内三倍频355 nm 紫外激光器。倍频与和频均采用II 类相位匹配方式。选择谐波的偏振方向以提高1064 nm 基频光到355 nm 三倍频光的转换效率。在一个简单的线性谐振腔中,采用一个激光二极管侧面抽运的Nd∶YAG 的模块,双声光Q 开关进行调制,以两块LBO 晶体分别作为倍频晶体与和频晶体。在10 kHz重复频率下,当抽运光功率约为623 W 时,获得最大输出功率为51.5 W 的355 nm 激光,脉冲宽度为36.5 ns,光-光转换效率大于8%。测得x 与y 方向的光束质量因子分别为M 2x =10.89,M 2y =12.32。