影响激光诱导等离子体喷射速度的因素

利用光学多通道分析仪(OMA III)分析了脉冲激光沉积BaTiO3薄膜过程中激光诱导等离子体束的飞行时间谱。根据不同实验参数与条件下等离子体束的飞行时间谱的特征,讨论了条件对等离子体喷射速度的影响。结果表明,在脉冲激光沉积薄膜的情况下,喷射等离子体的飞行速度主要依赖于作用于靶面的激光能量密度。