随着激光技术的发展,激光器件向着超短脉冲、超高强度、超短波长的方向迈进,这给激光材料加工带来了革命性的进步。近年来超短脉冲激光精密加工越来越得到人们的关注。这主要体现在超短脉冲激光加工可以得到高于长脉冲激光加工的精度,最高可以达到亚微米甚至纳米。另外超短脉冲激光除了可以进行材料表面的加工,还能够实现对透明材料内部的加工与改性。适用于其他加工方法无法实现的高精度、复杂形状元器件的加工,实现真三维、可设计、可集成。超短脉冲激光的瞬间功率极大,可以和几乎任何材料相互作用,因而可用于激光加工的材料几乎不受限制。对于超硬、易碎、高熔点、易爆等材料的加工,更具有其他方法无法匹敌的优势。