点衍射球面检测中的斜反射波前像差校正

针对高精度点衍射球面检测系统中金属反射介质的偏振效应,分析了不同偏振态光束在不同孔径角范围情况下所引入的斜反射波前像差。通过数值仿真,对金属反射介质所引入的斜反射相移曲线特征进行了分析,并以此为基础,提出了相应的斜反射波前像差校正方法。利用高精度球面检测中点衍射干涉仪对所提出的校正方法进行了实验验证,并给出了相关实验结果。结果表明,干涉检测系统中选择不同光束偏振态时,金属反射介质会引入不同的影响,而利用该校正方法可有效减小其斜反射波前像差,校正实验中可将波面面形偏差峰谷(PV)值和均方根(RMS)值分别由0.0452λ和0.0075λ降至0.0194λ和0.0021λ(λ为光波长)。