载玻片是生物和医学领域中放置样本的透明玻璃。为了更好地服务于生产过程中对载玻片组分的实时检测,采用1064 nm激光烧蚀载玻片,采集不同关键实验参数下的等离子体辐射光谱;选取Si I∶288.16 nm、Ca I∶422.67 nm、Na I∶589.00 nm作为分析谱线,以谱线强度和信号稳定性作为指标,对光谱仪采集延时、激光能量、激光重复频率、激光烧蚀方式、透镜到样品的距离等参数进行优化。结果表明:对于激光诱导击穿载玻片实验系统,最优的光谱采集延迟时间为3 μs,最优的激光重复频率为2 Hz,采用单点烧蚀方式可以得到更加稳定的光谱信号;对于焦距为100 mm的聚焦透镜,最佳聚焦位置位于样品