提出了一种基于多孔硅薄膜的光纤法布里珀罗(F-P)湿度传感器。多孔硅薄膜在一定相对湿度的环境下由于毛细冷凝作用,孔隙中的液态水的体积趋于动态平衡。液态水的平衡体积随着相对湿度的增加而增加,使得多孔硅薄膜有效折射率随之改变,从而导致反射光谱漂移。在理论研究的基础上,经实验验证了多孔硅薄膜用于湿度传感器的可行性。相对湿度从11%变化到97%时,波长漂移了9.6 nm。通过对实验结果的拟合,推算出不同相对湿度环境下,多孔硅薄膜的有效折射率值。同时从感湿机理出发讨论了不同相对湿度下的有效折射率变化,得出了与实验结果一致的红移结论。