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Ge和Al2O3封盖的Ge的热氧化的改进Deal Grove模型

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HAN.Z.H 25 0 PDF 2021-03-25 18:03:13

通过关注Ge的氧化动力学和Al2O3封顶的情况,提出了一种考虑GeO解吸通量以及氧的扩散的改进的Deal-Grove模型。此外,介绍了从整个氧化过程中提取解吸通量的方法。

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