根据马赫-曾德尔型热光开关的工作原理,提出了可以提高热光开关响应速度的过驱动方法并设计相应的驱动电路,使SOI 4×4 重排无阻塞热光开关阵列的响应时间从大于2 ms提高到了亚微秒。