本文分析了SIMOX/SOI和DWB/SOI结构的性能特点.尝试用DWB/SOI材料制备不同波导层厚度的平面光波导样品,并测试了1.15 μm和1.523 μm激光的TE和TM模的传输损耗.1.523 μm光的TE模的最小传输损耗已达0.27 dB/cm.说明DWB/SOI材料是一种有潜力的光波导材料.