高频表面声波(SAW)技术为无源无线传感和通信中的航空航天应用提供了许多机会。 本文介绍了基于128°YX LiNbO3衬底的L波段声表面波谐振器的设计,仿真,制造和测试。 利用有限元(FEM)方法和模式耦合(COM)理论对声表面波谐振器的设计参数进行了优化。 电子束光刻(EBL)技术用于制造叉指式换能器(IDT)和光栅反射器的亚微米级。 讨论了一些关键的EBLCraft.io(例如,电子束抗蚀剂的使用,金属沉积方法的选择,电荷积累效应和邻近效应)对SAW器件制造精度的影响。 实验上,使用改进的EBL技术制造的基于LiNbO3的SAW谐振器在1.55 GHz处出现瑞利波谐振峰,回波损耗约为-12 dB,品质因数Q为517。基于该SAW谐振器,进行了温度和应变测试。分别进行。 实验结果表明温度/应变对频移具有良好的线性依赖性,温度灵敏度分别为125.4 kHz /°C,应变灵敏度为-831 Hz / μ“。