监控工业系统中的振动可以提供有关设备健康状况的宝贵数据,并可以节省成本的先发制人的维护,但是有许多不同的方法来构建这样的系统。可以使用简单的压电振动传感器,但需要数据采集和信号处理来捕获和分析数据。微机械(MEMS)传感器在汽车安全气囊和智能手机和平板电脑跌落传感器等应用中的应用越来越受欢迎,这大大提高了成本,并开启了这些传感器在工业应用中的应用。 这些MEMS加速度计采用标准CMOS工艺技术制造,可以大批量生产,也可以与传感器一起集成。这导致单封装设备可以提供沿所有三个轴的振动测量,以及时域和频域中的复杂信号处理。这使设计人员能够轻松开发收集各种数据的传感器系统,并识别许多不同类