提出了基于曲面凹槽深度形状调制焦距的亚波长金属沟槽聚焦透镜,在器件尺寸不变条件下,通过调整凹槽深度分布曲面可对亚波长聚焦光束的焦距进行精确控制,该结构在高集成度微纳光学器件上具有广泛的应用前景。