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(中国科学院半导体所材料中心,北京100083)摘 要:采用溶胶-凝胶方法,以醋酸锶、钛酸四丁酯为前驱体,乙酰丙酮为螯合剂,乙二醇甲醚为溶剂,乙酸为助溶剂和催化剂制备溶胶,用旋涂法在Si(100)衬底
纳米晶碳化硅(nc-SiC)薄膜已经通过螺旋波等离子体增强化学气相沉积技术在硅(1 0 0)衬底上生长,并且通过改变衬底温度(Ts)将薄膜的光致发光从黄色调至蓝色。 )。 所得的nc-SiC薄膜显示出
制备了外用抗风湿涂膜剂,对其成膜材料进行筛选,并对其进行初步质量考察,制得的涂膜黏度适宜、成膜快、易洗除,3个月内基本稳定。经过动物皮肤刺激性试验表明,该抗风湿涂膜剂安全无刺激。
纳米晶WO3薄膜对紫外光辐照湿度的高性能光电响应
测量了Si衬底上生长的GaAs薄膜中与深中心有关的发光带的变温光谱,研究了0.78 eV、0.84 eV和0.93 eV发光带的峰值位置和发光强度随着温度的变化关系,发现它们的发光强度随温度的变化服从
采用传统紫外光刻技术与激光双光束干涉光刻技术相结合的方法,以及激光双光束干涉连续两次曝光的工艺方法,制备了具有多种形貌和周期的微纳米复合结构,解决了利用传统激光干涉加工技术制备微结构的形貌和周期单一的
为研制真空紫外与极紫外波段Al基薄膜光学元件,详细研究了Al基薄膜的应力特性及其优化方法。利用应力实时测量装置对共溅射技术制备的5种不同Si掺杂质量分数(0、8.97%、16.49%、28.46%、4
YAG 微晶玻璃发光特性的研究.
阐述了脉冲激光沉积法的基本原理、特点及其应用。分别介绍了超快脉冲激光沉积法、双光束脉冲激光沉积法、脉冲激光气相沉积法、脉冲激光液相沉积法、脉冲激光诱导晶化法、直流放电辅助脉冲激光沉积法、脉冲激光分子束
制备温度对BiFeO3薄膜结构及性能的影响 ,孙翔宇,帅垚,阻变存储器是一类新型非易失性存储器,具有功耗低、读写快、保持特性好、可小型化等特点。本文主要研究了采用脉冲激光沉积(PLD)
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