对电子束泵浦的KrF激光介质之间的各种化学反应进行研究,求得KrF*、ArF*、Kr2F*等激发态的泵浦率随时间、介质压强和介质成分的变化曲线。得到介质压强的最佳值是0.8atm,最佳分压比是Ar/Kr/F2=91.37%/8.4%/0.225%。最佳电子束脉宽应大于50ns。