使用下吹式快速流动系统以及闸流管开关高重复率脉冲发生器,已在Ηe、 Xe及NF3混合气体中获得了波长为3510埃及3530埃的高重复率(500脉冲/秒)XeF分子激光输出。横向流动速度为14米/秒,它流过的放电区尺寸为1×0.4×30厘米,压力为650托。放电脉宽60亳微秒。在单次脉冲工作时,获得激光输出能量为6亳焦耳/脉冲,电效率为0.25%。在高重复率运转时,由于充电时间常数长,故每个脉冲输出能量仅3亳焦耳。