就高功率激光对PIN结光电二极管因热效应引起的硬破坏过程进行了理论和实验研究.提出激光的热效应与伴随等离子体扩展时向外喷溅形成的冲刷效应是导致硅光二极管被破坏的主要原因。得到了Q开关YAG激光与PIN结光电二极管器件相互作用时的热分布、最高温度表达式和对应的实验结果。