为了解决珠状导热气体传感器的电阻分布大,补偿器匹配困难的问题,提出了一种基于MEMS技术的微机电系统(MEMS)导热气体传感器。 通过在Al2O3上对陶瓷膜进行原位微加工来制备传感器载体,并通过印刷Craft.io形成Pt敏感加热电极。 最后,通过非气密包装敏感组件和气密包装补偿组件来制造热导率传感器。 基于仿真方法,还讨论了所制造传感器的温度和应力特性。 详细的实验表明,所制造的MEMS热导率气体传感器具有很高的导热性,灵敏加热电极的零电阻范围为2 +/- 0.2Ω。 CH4气体在0的恒定电压下的满量程响应值为36 my,范围为0,类似于100%,并且在传感器输出和CH4气体浓度之间显示出良好的线性关系