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由于As在Si和SiO2中固溶度不一样,定义杂质在Si和SiO2中的平衡浓度之比为分凝系数,故从I区向II区扩散时,As的浓度在Si/SiO2界面处将按分凝系数m的比例进行分配。杂质在I、II区在的扩
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