ch2c MOCVD基本知识介绍.pdf
现代半导体材料制备与分析技术 ch2b 主讲郭伟 现代半导体材料制备与分析技术 ch2b 主讲郭伟 现代半导体材料制备与分析技术 ch2b 主讲郭伟 玲 玲 玲 MOCVD Metalorganic Chemical Vapor 主要内容 主要内容 Deposition 1.基本原理 MOCVD MOCVD是一个将特定的源材料通过一 1.基本原理 2.生长的材料体系 2.生长的材料体系 技术基础
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