ErxY2-xSiO5(x = 0-2)膜已通过溶胶-凝胶法在Si(100)衬底上制备。 与波长为654 nm的纯Er2SiO5膜相比,ErxY2-xSiO5(x = 0.1)膜的Er3 +光致发光增强了约30倍。 降低的上转换效应和降低的非辐射瞬态速率是新的ErxY2-xSiO5薄膜中增强的Er3 +发光的两个主要原因。 在30 mW的泵浦功率下,在1毫米长的ErxY2-xSiO5(x = 0.1)波导上可以实现10 dB以上的光增益,这表明它已成为硅光子集成中紧凑型波导放大器和发射器的候选材料。