基于硅纳米线压敏电阻的高信噪比高灵敏度SOI压力传感器的设计优化与制造

bosstb 10 0 PDF 2021-04-08 17:04:04

基于硅纳米线压敏电阻的高信噪比高灵敏度SOI压力传感器的设计优化与制造

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