在半导体的生产中,大宗气体和电子特气都有应用。大宗气体主要包括空分 气体中的氧气、氮气,品种少、用量大,对纯度要求不高(99.99%左右甚至是普 通纯度),可用于助燃、防氧化等,供应方式以现场制气、集中供应为主。电子特 气主要包括氢化物、氟化物、氟代烷烃、金属有机化合物等等,是超大规模集成 电路、平面显示器件、化合物半导体器件、太阳能电池、光纤等电子工业生产不 可缺少的基础性支撑原材料,被广泛应用于薄膜、刻蚀、掺杂、气相沉积、扩散 等工艺,供应方式以零售分散供应为主。 随着半导体和微电子工业的迅猛发展,业界对电子特气的品种、数量、质量 及纯度都提出了更高的要求。一般而言,对电子特气的纯度要求达