以中心波长为650 nm的氮化镓LED外延片为研究对象,提出了一种反射式表面等离激元增强型LED来提高其发光效率。该结构包含依次覆盖在正弦起伏的p型GaN层上的一层低折射率的SiO2膜与一层Ag膜。银膜用来增强内量子效率,而SiO2层能进一步提高GaN层上表面的反射率,同时通过优化蓝宝石衬底的厚度使得GaN层下方的透射率较高,从而得到了较大的发光效率。