以准分子激光在软性材料上制作图案

半导体工程师寻找有用的自显影光刻胶已有多年。这种光刻胶可用于半导体加工过程中很少几个阶段,可能节约生产成本。虽然已研究过几种这类材料,但它们都有一种或多种问题,诸如副产品有毒、曝光需要高强度辐照量、化

本文报导了我们利用KrF和XeBr的准分子激光对三种紫外染料:对二苯基苯、1.4-二苯基丁烷和ΠΟΠ,进行了泵浦的结果。在实验中我们测验了泵浦能量转换成染料激光辐射的效率,以及在利用简单的色散共振腔时

利用准分子激光刻蚀法在光学玻璃上快速制作耐用的相位透射光栅

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Laser oscillations of 11 vibrational bands of the XeCl excimer at about 308 nm are obtained from a s

本文报道XeCl准分子激光器泵浦若丹明640乙醇溶液可调激光染料的实验结果,调谐激光线宽为0.011nm,调谐范围为603到646nm.

用于制作光纤布拉格光栅的工业准分子激光器的优化

而采用准分子激光剥离设备去除蓝宝石则是一种有效的工艺手段,在新一代高亮LED芯片的制备中,将会成为不可或缺的关键技术。

准分子激光绝对波长校准技术中, 参考中心波长位置抖动是影响校准精度的主要因素, 寻峰算法是解决这类问题的有效途径。通过仿真和实验研究比较了5种寻峰算法, 结果显示, 高斯非线性曲线拟合寻峰法误差最小,

提出了在静态重复率泵浦的准分子激光器中的放电气体热膨胀模型。计算结果表明,这种热效应对激光输出平均功率与光束特性有不可忽视的影响。