在线等离子体辅助N2O氧化制备超薄氧化硅及其在n型多晶硅钝化接触中的应用

大气等离子体抛光(APPP)是一种非接触式的化学刻蚀加工方法,具有效率高、成本低、精度高等优点,可以作为碳化硅(SiC)加工的一种有效手段。基于APPP气体放电理论和尖端电场畸变效应,分析了电极结构对

基于电感耦合等离子体的氧等离子体处理对AlGaN / GaN HEMT的影响。

绍了流光放电等离子体烟气脱硫的原理和工艺流程,设计了一套基于CAN总线的微机监控系统,并给出了系统的软硬件设计方案,在实验平台上取得了良好效果。

回收四氯化硅化解多晶硅产业瓶颈

研究了一种超薄硅单层与掺铒硅单层/金属薄膜/硅衬底 (Si:SiEr/Metal/Si, SEMS)型硅基激光器结构。利用表面等离子体激元局域增强效应提升了硅基增益介质材料在1.54 mm波长点的光学

氮化硅薄膜的性能研究以及在多晶硅太阳电池上的应用

我们提出了一个微观模型，用于高多重质子-质子碰撞中的集体效应，其中多个partonic次碰撞产生了密集的弦系统。通过晶格计算，我们知道QCD弦是横向延伸的，并且我们认为这会导致横向压力和膨胀，类似于无

分别讨论了在非相对论条件下短脉冲和长脉冲激光在完全电离的等离子体中的传播持性.短脉冲情况下,激光的有效瑞利长度会增加,但不会出现自导引;长脉冲激光的传播取决于激光功率和等离子体温度之比,当该比值超过一

对激光辐照微球靶时产生的后向反射激光进行测量,得到下述结果:(1)反射光谱宽度从2(?)增宽到66(?)。(2)近场分布均匀。(3)波面象差很小。(4)反射率在10~20%范围内变化。

短脉冲强激光和气体靶相互作用可产生等离子体波导。利用自相似模型,得到了等离子体波导中等离子体参数的时空演化。利用自编制的程序,以类He氮为例,研究了在这种等离子体波导中,产生复合机制X射线激光的过程。