半导体制造行业报告:半导体制程发展从um级制造到nm级制造
不管是逻辑芯片还是存储芯片,制程量级越低,技术难度越大,制作成本也越高。IBS 的 数据显示:28nm 体硅器件的设计成本大致在 5130 万美元左右,而 7nm 芯片需要 2.98 亿, 5nm 则需要 5.42 亿美元,成本的增长速度越来越快。28nm 是半导体制程里性价比最高、长周期属性明显的制程。一方面,相较于 40nm 及更 早期制程,28nm 工艺在频率调节、功耗控制、散热管理和尺寸压缩方面具有明显优势。 另一方面,由于 16nm/14nm 及更先进制程采用 FinFET 技术,维持高参数良率以及低缺陷 密度难度加大,每个逻辑闸的成本都高于 28nm,从前面制程成本比较的图中也可以
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