双缓冲层结构对蓝宝石上AlN外延生长的影响

提出了包括隔离层和成核层的双重AlN缓冲层结构,以通过金属有机化学气相沉积来改善蓝宝石衬底上的AlN膜的生长。 该方法旨在减弱负氮化作用,并改善初始生长阶段的侧向生长条件。 发现适当增加成核层的厚度有利于AlN膜的更好的结构质量。 通过原子力显微镜检查表面形态表明,双AlN缓冲层越厚,表面越粗糙,并且AlN外延层的质量越高。